久經(jīng)考驗(yàn)，仍然值得信賴

在將久經(jīng)考驗(yàn)的反卷積算法集成到新的 Image-Pro 模塊中時(shí)，我們進(jìn)行了一系列實(shí)驗(yàn)室測(cè)試，以確保新的集成仍然值得信賴，并且即使在新平臺(tái)中也能提供可靠、可重復(fù)的結(jié)果。下面的白皮書詳細(xì)介紹了這些測(cè)試的結(jié)果和結(jié)論。

簡(jiǎn)而言之，我們所有的新測(cè)試都產(chǎn)生了令人放心的結(jié)果。AutoQuant Fixed PSF 和 Adaptive PSF 算法在所有情況下都繼續(xù)提供一致的改進(jìn)和可靠的數(shù)據(jù)尤其是對(duì)于我們觀察到幾乎相同改進(jìn)的 3D 數(shù)據(jù)。事實(shí)上，我們的測(cè)試都沒有顯示結(jié)果存在顯著差異。因此，新模塊經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)化，僅專注于 3D 圖像的固定 PSF 算法，從而加快設(shè)置速度并生成與以前的 AutoQuant 版本相同質(zhì)量的數(shù)據(jù)。

一、ProScan H101A

用于正置顯微鏡的電動(dòng)顯微鏡載物臺(tái)

ProScan H101A 是一款用于正置顯微鏡的電動(dòng) XY 載物臺(tái)，可完全定制。其緊湊的設(shè)計(jì)使其非常適合集成到 OEM 設(shè)備或定制顯微鏡中。

它有一個(gè) 2 mm 滾珠絲杠和 200 級(jí)電機(jī)，可在速度和分辨率之間取得平衡，提供亞微米級(jí)的可重復(fù)性，同時(shí)還提供 H1P4A 平臺(tái)的 4 倍速度。Prior 獲得專利的智能掃描技術(shù) （IST） 優(yōu)化了載物臺(tái)的精度和線性度。

H101A 可容納各種樣品類型，包括載玻片、多孔板、半導(dǎo)體晶片和冶金樣品。

主要特點(diǎn)

l與大多數(shù)品牌的正置顯微鏡兼容，并完全可定制以用于 OEM 項(xiàng)目

l1μm 或更好的可重復(fù)性

l安靜可靠

l多種樣品架

l智能掃描技術(shù)?（美國(guó)專利 7,330,307）

產(chǎn)品兼容

OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L

二、ProScan H138A

可容納 8 張載玻片的電動(dòng)顯微鏡載物臺(tái)

H138A 電動(dòng) XY 載物臺(tái)設(shè)計(jì)用于集成到定制顯微鏡或 OEM 設(shè)計(jì)中，并適應(yīng)不同的硬件配置。

它使用 2 mm 節(jié)距滾珠絲杠和 200 級(jí)電機(jī)驅(qū)動(dòng)來(lái)快速覆蓋其較大的行程區(qū)域，并采用 Prior 的專利智能掃描技術(shù) （IST） 來(lái)優(yōu)化平臺(tái)精度和線性度。

H138A 最多可容納 8 個(gè) 75 mm x 25 mm 顯微鏡載玻片，并提供更長(zhǎng)的橫向行程，用于對(duì)大型樣品（如 PCB）或多個(gè)樣品陣列進(jìn)行成像。

主要特點(diǎn)

l與大多數(shù)品牌的正置顯微鏡兼容，并完全可定制以用于 OEM 項(xiàng)目

l1μm 或更好的可重復(fù)性

l擴(kuò)展橫向行程，適用于較大樣品或多個(gè)載玻片的成像

l多種樣品架

產(chǎn)品兼容

OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L

三、OptiScan ES111

用于正置顯微鏡的經(jīng)濟(jì)型電動(dòng)載物臺(tái)

ES111 是一款適用于正置顯微鏡的入門級(jí)電動(dòng) XY 載物臺(tái)。它與Prior的OpenStand兼容，可輕松集成到OEM產(chǎn)品或定制顯微鏡中

該載物臺(tái)具有可靠且精確的抗反沖絲杠/步進(jìn)電機(jī)，適用于不需要亞微米可重復(fù)性的常規(guī)成像應(yīng)用，是顯微鏡自動(dòng)化的經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的選擇

它可容納多種樣品類型，包括載玻片、多孔板、培養(yǎng)皿和拋光冶金樣品。ES111 是為任何顯微鏡應(yīng)用引入基本電動(dòng)化的理想平臺(tái) - 它目前用于研究和工業(yè)環(huán)境中的載玻片掃描、顆粒分析、工業(yè)顯微鏡、熒光顯微鏡和計(jì)量學(xué)

由于其低成本和易用性，ES111 也是電動(dòng)顯微鏡教育或家用病理系統(tǒng)的理想選擇。

主要特點(diǎn)

l與工業(yè)和生命科學(xué) Nikon 顯微鏡兼容

l 成本低，易于設(shè)置且易于使用

l  便于常規(guī)多位置成像和拼接

l  適用于大多數(shù)顯微鏡應(yīng)用的多種樣品架

l  堅(jiān)固、簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)，可集成到大型復(fù)雜系統(tǒng)中

產(chǎn)品兼容：

OpenStand-U、OpenStand-M、OpenStand-L

四、ProScan H105N2F

用于正置顯微鏡的電動(dòng)平頂 6 英寸移動(dòng)載物臺(tái)

ProScan H105N2F 是一款專為正置工業(yè)顯微鏡設(shè)計(jì)的電動(dòng) XY 平頂載物臺(tái)。 

它完全可定制，可集成到 OEM 設(shè)備中，但也可直接安裝在尼康工業(yè)顯微鏡和 Prior OpenStand-L 平臺(tái)上。有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱產(chǎn)品兼容性選項(xiàng)卡。

它具有 154 x 154 mm 的 XY 行程，針對(duì)掃描 6 英寸半導(dǎo)體晶片和其他工業(yè)樣品進(jìn)行了優(yōu)化。

H105N2F 可靠、高效地掃描工業(yè)樣品。它采用 Prior 的專利智能掃描技術(shù) （IST） 來(lái)提高精度和線性度，并采用 2 毫米滾珠絲杠以提高速度。

其平頂板便于取用樣品進(jìn)行上樣，并確保與各種光學(xué)元件兼容。

它與 Nikon NIS Elements 軟件兼容（需要適當(dāng)?shù)能浖?/span>

主要特點(diǎn)

l易于集成到定制的成像解決方案中

l直接與 Nikon 工業(yè)顯微鏡和軟件兼容

l美觀且用戶友好的平頂設(shè)計(jì)

l行程范圍支持 6 英寸晶圓

l智能掃描技術(shù)?（美國(guó)專利 7,330,307）

五、ProScan H116/2

用于正置顯微鏡的電動(dòng)平頂 6 英寸移動(dòng)載物臺(tái)

用于正置工業(yè)顯微鏡的ProScan H116/2電動(dòng)XY載物臺(tái)與Prior的OpenStand-L平臺(tái)兼容，并且是完全可定制的。

它具有較長(zhǎng)的行程范圍和 25 kg 的負(fù)載能力，可用于掃描大型重型樣品，例如 8 英寸半導(dǎo)體晶片、平板顯示器和直徑達(dá) 200 mm 的印刷電路板。

H116/2 采用 Prior 的專利智能掃描技術(shù) （IST），可提高精度和線性度，并采用 2 mm 滾珠絲杠以提高速度。它可以可靠、高效地掃描大型工業(yè)樣品。

根據(jù)您所在的地區(qū)，可能提供其他用于提高速度的驅(qū)動(dòng)器配置。

它與透射光應(yīng)用兼容，便于上樣。

主要特點(diǎn)

l易于集成到定制的成像解決方案中

l支持 8 英寸晶圓，具有額外的 X 軸行程范圍，便于樣品加載

l纖薄設(shè)計(jì)，負(fù)載能力為 25 kg

l速度和精度的完美結(jié)合

l智能掃描技術(shù)?（美國(guó)專利 7,330,307）

六、ProScan H112/2ST

用于正置顯微鏡的電動(dòng) 12 英寸移動(dòng)載物臺(tái)

ProScan H112/2ST 電動(dòng) XY 載物臺(tái)與尼康和 Evident/奧林巴斯正置工業(yè)顯微鏡、Prior 的 OpenStand-L 平臺(tái)兼容，并且可以 輕松集成到定制顯微鏡中。

它專為掃描大型重型樣品而設(shè)計(jì)，如 12 英寸半導(dǎo)體晶片、平板顯示器和印刷電路板，可提供 Prior XY 平臺(tái)中最長(zhǎng)的行程范圍。它與透射光應(yīng)用兼容。

H112/2ST 采用 Prior 的專利智能掃描技術(shù) （IST），可提高精度和線性度，并采用 2 mm 滾珠絲杠以提高速度。

該載物臺(tái)與 Nikon NIS Elements、Olympus Stream Motion 和 Evident PRECiV 軟件兼容（需要適當(dāng)?shù)能浖?/span>

主要特點(diǎn)

l直接與 Nikon 和 Evident/Olympus 工業(yè)顯微鏡和軟件兼容

l輕巧纖薄的設(shè)計(jì)便于集成

l適用于半導(dǎo)體應(yīng)用的 12 英寸行程范圍

l智能掃描技術(shù)?（美國(guó)專利 7,330,307）

七、ProScan HWL6AL12

電機(jī)驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體晶圓檢查穿梭機(jī)平臺(tái)，奧林巴斯晶圓處理系統(tǒng)

Prior Scientific的電動(dòng)穿梭臺(tái)設(shè)計(jì)用于晶圓檢查，使用奧林巴斯的AL120晶圓處理系統(tǒng)。該臺(tái)大大減少了操作員的錯(cuò)誤和疲勞，同時(shí)提高了晶圓檢查的速度

HWL6AL12自動(dòng)加載和卸載晶圓。在操作過(guò)程中，shuttle系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)移動(dòng)到正確的裝載位置并激活裝載器開關(guān)，通知裝載器晶圓夾具已準(zhǔn)備好接收晶圓。在轉(zhuǎn)移到shuttle后，shuttle縮回，允許檢查。該平臺(tái)允許使用操縱桿進(jìn)行手動(dòng)檢查，或預(yù)先編程的模式進(jìn)行完全自動(dòng)化的檢查。

HWL6A L12具有較大的行程范圍，結(jié)合出色的重復(fù)性和分辨率，與Prior的ProScan III系統(tǒng)結(jié)合使用，確保準(zhǔn)確性、精確度、最小誤差和最終更有效的晶圓檢查過(guò)程。

主要特點(diǎn)

l行程范圍為250 x 210毫米

l分辨率 0.04 微米

l重復(fù)性為±0.2微米

l自動(dòng)加載和卸載晶圓

l與ProScan III系統(tǒng)和奧林巴斯AL120晶圓處理系統(tǒng)兼容

八、H116SPN

用于尼康晶圓處理系統(tǒng)的電動(dòng)半導(dǎo)體晶圓穿梭臺(tái)

ProScan lll系統(tǒng)獲得專利的智能掃描技術(shù) （IST）ProScantm lll 控制器和載物臺(tái)包括標(biāo)準(zhǔn)IST，可顯著提高載物臺(tái)的測(cè)量精度，先前的交互式控制中心PS3J100本地控制中心提供位置反饋和測(cè)量能力

要獲得這些結(jié)果，需要使用優(yōu)先ProScan?三級(jí)（或更高）控制器。通過(guò)優(yōu)先測(cè)試方法獲得的結(jié)果。* ProScanTlll控制器具有回差校正功能時(shí)的平均性能；所有重復(fù)性都是單向的。SPR電機(jī)每轉(zhuǎn)的完整步數(shù)

主要特點(diǎn)

l雙向可重復(fù)性±1.3微米

l單向可重復(fù)性±0.2微米

l最大行程范圍250×210毫米

l最小步長(zhǎng)（分辨率）0.04微米

l推薦速度40毫秒

l滾珠絲杠螺距2毫米

l電動(dòng)機(jī)類型200SPR

l重量9千克